Informace o projektu
Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

Informace

Projekt nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka projektu je na webu muni.cz.

Kód projektu

ME 367

Období řešení

7/2000 - 6/2002

Investor / Programový rámec / typ projektu

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR

Program KONTAKT (ME + MEB) (jen po projekty s počátkem řešení v roce 2010)

Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.

Ve spolupráci s Institut fur anorganische materialien TU v Mnichově a SHM Šumperk bude prováděn vývoj a přenesení vyvinuté technologie do výrobního procesu pro nové supertvrdé nanokrystalické materiály typu TiN/AlN/SiN. Katedra fyzikální elektroniky se zaměří zejména na vývoj monitorování plazmochemických procesů probíhajících při depozici supertvdých vrstev. Bude využito zejména metod optické spektroskopie a metody sondové. Výsledkem spektrálních a sondových měření budou jednoduché detektory umož- ňující monitorování plazmochemického procesu tak, aby mechanické vlastnosti nanesených supertvrdých vrstev byly optimální. Na KFE PřF MU bude sestavena mikrovlnná aparatura typu ASTEX pro přípravu vrstev diamantového typu a vrstev typu BN. Bude rovněž vyvinuto další mikrovlnné depoziční zařízení umožňující generaci plazmatu s homogenním radiálním profilem. Bude vyvinut vysokofrekvenční generátor s induktivně buzeným plazmatem pro přípravu nanokompositních materiálů typu CN/SiO a materiálů typu CN/SiN.

Publikace

Počet publikací: 24

2001

Deposition of hard carbon films and its diagnostics

FRGALA Zdeněk KUDRLE Vít JANČA Jan TÁLSKÝ Antonín

Článek ve sborníku

Juniormat'01, rok: 2001
Determination of Mechanical Properties of Thin Films by the Indentation Techniques

BURŠÍKOVÁ Vilma NAVRÁTIL Vladislav

Článek ve sborníku

New Trends in Physics, rok: 2001
Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

KUDRLE Vít ZAJÍČKOVÁ Lenka BRABLEC Antonín

Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)

Rok: 2001, druh: Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)
Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition

BURŠÍKOVÁ Vilma ZAJÍČKOVÁ Lenka NAVRÁTIL Vladislav PRYČKOVÁ Jana SUBEDI Deepak Prasad JANČA Jan

Článek ve sborníku

Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge

ELIÁŠ Marek KUDRLE Vít BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan

Článek ve sborníku

SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001
Plasma Enhanced CVD of DLC:Si(O) Films from Methane/Hexamethyldisiloxane Feeds

ZAJÍČKOVÁ Lenka DVOŘÁK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma PEŘINA Vratislav MACKOVÁ Anna NAVRÁTIL Vladislav JANČA Jan

Článek ve sborníku

Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001
Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD

ELIÁŠ Marek ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma KUDRLE Vít KLAPETEK Petr JANČA Jan

Článek ve sborníku

Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001

2000

Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge

ELIÁŠ Marek ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan LORENC Michal

Článek v odborném periodiku

Diamond and Related Materials, rok: 2000, ročník: 9, vydání: 7
HF-Plasma Pencil in Liquids

ŠÍRA Martin KLÍMA Miloš JANČA Jan KAPIČKA Vratislav SULOVSKÝ Petr

Článek v odborném periodiku

Czechoslovak Journal of Physics, rok: 2000, ročník: 50, vydání: S3
Characterization of CNx/SiOy Films Prepared by the Inductively Coupled RF Discharge

ELIÁŠ Marek ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan

Článek v odborném periodiku

Czechoslovak Journal of Physics, rok: 2000, ročník: 2000, vydání: 50(S3)