Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ELIÁŠ Marek KUDRLE Vít BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan

Rok publikování 2001
Druh Článek ve sborníku
Konference SAPP 13th Symposium Proceedings
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Optical diagnostics; inductively coupled RF discharge
Popis Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.