Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KUDRLE Vít ZAJÍČKOVÁ Lenka BRABLEC Antonín
Rok publikování	2001
Druh	Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Popis	Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process
Související projekty:	Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek