Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Modifikace tenkých DLC vrstev pomocí hexametyldisiloxanu
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma ZAJÍČKOVÁ Lenka NAVRÁTIL Vladislav PRYČKOVÁ Jana SUBEDI Deepak Prasad JANČA Jan
Rok publikování	2001
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Plasma Physics; Thin Solid Films
Popis	V práci byly studovány vlastnosti diamantupodobných vrstev vv závislosti na množství hexametyldisiloxanu. zejména byly studovány mechanické vlastnosti vrstev (mikrotvrdost).
Související projekty:	Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek