Informace o projektu
Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie

Informace

Projekt nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka projektu je na webu muni.cz.

Kód projektu

GP202/01/P106

Období řešení

1/2001 - 1/2003

Investor / Programový rámec / typ projektu

Grantová agentura ČR

Postdoktorské projekty

Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Vybrané plazmochemické reakce budou studovány v různých typech výbojů (nízkotlaký vysokofrekvenční výboj, nízkotlaký stejnosměrný výboj, nízkotlaký mikrovlnný výboj, vysokotlaký mikrovlnný hořák, doutnavý výboj za atmosférického tlaku, atd.) za pomocí el ektronové paramagnetické rezonance (EPR) a optické emisní spektroskopie (OES). Projekt se soustředí hlavně na následující oblasti: (i) Vliv příměsí na heterogenní (povrchové) reakce, zejména na povrchovou rekombinaci atomů. Koncentrace daných atomů v doh asínání bude určena v závislosti na množství příměsi, pozici v dohasínání, teplotě stěn, atd. Cílem je porozumět lépe tomuto procesu, popsat ho jak experimentálně tak teoreticky a na závěr navrhnout možné aplikace, např. zvýšení rychlosti nitridace. (ii) Určení rychlostních konstant hlavních reakcí mezi organosilikonovými sloučeninami (TEOS, HMDSO, HMDSZ, OMTS) a atomárním kyslíkem či dusíkem metodou EPR. Tyto konstanty pak umožní optimalizovat současné depoziční techniky, např. výběrem nejvhodnějšího

Publikace

Počet publikací: 35

2002

Measurement of concentration of N atoms in afterglow

KUDRLE Vít VAŠINA Petr TÁLSKÝ Antonín JANČA Jan

Článek v odborném periodiku

Czech. J. Phys., rok: 2002, ročník: 52-D, vydání: 52-D
Plasmachemical nitridation of boron precursors

ELIÁŠ Marek KUDRLE Vít JANČA Jan BROŽEK Vlastimil

Článek v odborném periodiku

Czech. J. Phys., rok: 2002, ročník: 52, vydání: 52
Plasmachemical synthesis of tungsten carbide

BROŽEK Vlastimil JANČA Jan ELIÁŠ Marek

Článek ve sborníku

Proc.12 Joint Seminar" Development of Material Science in Research and Education, rok: 2002
Plasmachemical synthesis of tungsten carbide for catalysis

BROŽEK Vlastimil JANČA Jan DUFEK Vladimir ELIÁŠ Marek ŽÍLA Jaromír

Článek ve sborníku

CHISA 2002, rok: 2002
Simultaneous plasmachemical reduction of mixed tungsten and titanion precursors

ELIÁŠ Marek ŽÍLA Jaromír JANČA Jan BROŽEK Vlastimil

Článek v odborném periodiku

Czech. Jourmal of Physics, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 52
Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

ZAJÍČKOVÁ Lenka DVOŘÁK Pavel KUDRLE Vít ŠMÍD Radek

Článek v odborném periodiku

Czech. J. Phys., rok: 2002, ročník: 52, vydání: 52

2001

Atomic nitrogen concentration in afterglow measured by EPR and NO titration methods

KUDRLE Vít TÁLSKÝ Antonín VAŠINA Petr KŘÁPEK Vlastimil JANČA Jan

Článek ve sborníku

Proceedings of XXVth ICPIG, rok: 2001
Deposition of hard carbon films and its diagnostics

FRGALA Zdeněk KUDRLE Vít JANČA Jan TÁLSKÝ Antonín

Článek ve sborníku

Juniormat'01, rok: 2001
Determination of rate constant of N+HMDSZ gas phase chemical reaction by means of EPR

JANČA Marek KUDRLE Vít KŘÁPEK Vlastimil TÁLSKÝ Antonín JANČA Jan

Článek ve sborníku

SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001
Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

KUDRLE Vít ZAJÍČKOVÁ Lenka BRABLEC Antonín

Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)

Rok: 2001, druh: Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)