Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka DVOŘÁK Pavel KUDRLE Vít ŠMÍD Radek

Rok publikování 2002
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova RF discharge; mode transition; sheath
Přiložené soubory
Popis We have studied the mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.