Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ZAJÍČKOVÁ Lenka DVOŘÁK Pavel KUDRLE Vít ŠMÍD Radek
Rok publikování	2002
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	RF discharge; mode transition; sheath
Přiložené soubory	124_1.pdf
Popis	We have studied the mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen
Související projekty:	Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek