Hydrogenation of platinum introduced in silicon by radiation enhanced diffusion

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	HAZDRA Pavel KOMARNITSKYY Volodymyr BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Materials Science and Engineering
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Doi	http://dx.doi.org/10.1016/j.mseb.2008.11.038
Obor	Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Klíčová slova	diffusion; hydrogenation; platinum; silicon
Popis	Článek je zaměřen na hydrogenaci atomů platina v křemíku pomocí radiačně podporované difúze. Defekty jsou studovány zejména pomocí deep level transient spectroscopy.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek