Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Konfidenční interval pro vzdálenost dvoch mikro/nano struktúr a její aplikace v dimensionální metrologii
Autoři	WIMMER Gejza KAROVIČ Karol WITKOVSKÝ Viktor KÖNING Rainer
Rok publikování	2011
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace	WIMMER, Gejza, Karol KAROVIČ, Viktor WITKOVSKÝ a Rainer KÖNING. Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology. In Ján Maňka, Viktor Witkovský, Milan Tyšler, Ivan Frollo. Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement. Bratislava: Institute of Measurement Science Slovak Academy of Sciences Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava, 2011, s. 80-83. ISBN 978-80-969672-4-7.
Obor	Aplikovaná statistika, operační výzkum
Klíčová slova	Length Comparator; Dimensional Metrology; Confidence Intervals
Popis	Navrhla se metoda pro výpočet aproximatívního konfidenčního intervalu (Bonferroniho typu) pro vzdálenost dvoch mikro a/anebo nanostruktur při použití údajů dálkového komparátora. Tento postup zabezpečuje určení souřadníc hran, polohy a šířky struktury pomocí jejího fotometrického profilu. Postup je demonstrován na datach z komparátora v PTB Braunschweig v Německu.
Související projekty:	Centrum Jaroslava Hájka pro teoretickou a aplikovanou statistiku