Alternative method for flow measurement of clog producing gases and liquids in PVD and PECVD processes

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Alternativní metoda měření průtoku plynů a kapalin v depozících PVD a PECVD
Autoři	ZELINA Peter KUDRLE Vít JAŠEK Ondřej
Rok publikování	2011
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Book of Extended Abstracts POTENTIAL AND APPLICATIONS OF THIN CERAMIC AND METAL COATINGS 2011
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	flow measurement; PECVD; Prandtl-Pitot tube; Iron pentacarbonyl
Popis	V této práci je použita metoda měření průtoku plynů v případě. kdy nelze použít elektronické průtokoměry, jako například vysoce reaktivní plyny, nestabilní látky nebo dochází k jiným typům komplikací při použití průtokoměrů. Úspěšně jsme použilu metodu využívající Pitotovu trubici pro měření průtoku pentakarbonylu železa př syntéze železných nanočástic metodou PECVD.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek