Higher harmonic frequencies of discharge voltages as extremely sensitive marker of state of RF reactive sputtering deposition process

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Vyssi harmonicke frekvence jako ukazatel stavu reaktivniho magnetronoveho depozicniho procesu
Autoři

VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel

Rok publikování 2009
Druh Článek ve sborníku
Konference Book of Contributed Papers of 17th Symposium on Applications of Plasma Processes
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova reactive sputtering
Popis Vyssi harmonicke frekvence jako ukazatel stavu reaktivniho magnetronoveho depozicniho procesu, konferenční sborník
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.