Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu
Autoři	ZŮDA Jaroslav BURŠÍKOVÁ Vilma ČECH Jan SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	JUNIORMAT'05
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Thermal stability; diamond like carbon; thin films; plasma enhanced chemical vapor deposition
Popis	V této práci byla studována termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu.
Související projekty:	Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů