Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma SOBOTA Jan BURŠÍK Jiří NAVRÁTIL Vladislav

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti"
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Thin solid films; microhardness; low temperature plasma
Popis Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech byly zkoumány pomocí metody Depth Sensing Indentation a zkoumána závislost mikrotvrdosti a Youngova modulu na složení a teplotě plazmatu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.