Infrared Absorption Spectroscopy of Oxygen Precipitates in Czochralski Silicon
Název česky | Infračervená absorpční spektroskopie kyslíkových precipitátů v Czochralského křemíku |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2004 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | WDS'04 Proceedings of Contributed Papers |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | Infrared; Silicon; Oxygen; Precipitates |
Popis | Analyzovali jsme infračervená spektra propustnosti Czochralského křemíku. Díky měrení na teplotě kapalného dusíku jsme identifikovali příspěvek kyslíkových precipitátů. Pro určení tvaru a objemového podílu těchto částic byl použit model efektivního prostředí. |
Související projekty: |