Electrical Properties of SiOxHyCz Coatings Prepared by PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Elektrické vlastnosti vrstev SiOxHyCz připravených PECVD
Autoři

FRANCLOVÁ Jana KUČEROVÁ Zuzana BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference 15th Symposium on Aplications of Plasma Processes
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova thin films; electrical properties
Popis U MIM struktur můžeme pozorovat dva druhy elektrické vodivosti, které můžou být buď limitované elektrodami (Schottyho amise, tunelování) a nebo procesy zapřičiněné objemovými procesy v dielektriku (Poole-Frenkelova vodivost). Vrsvy připravené PECVD vykazují Poole-Frenkelovu vodivost při nižších napětích a při vyšších vykazují tunelování.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.