Deposition of polymer films by rf plasma nozle at atmospheric pressure
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2003 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | XV Symposium on Physics of Switching Arc, Vol I, Contributed Papers |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | plasma deposition |
Popis | Deposition of polymer films by 13.56 MHz plasma jet at atmospheric pressure. |
Související projekty: |
|