Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

SUBEDI Deepak Prasad ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan

Rok publikování 2001
Druh Článek ve sborníku
Konference WDS'01 Proceedings of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova rf plasma; emission sectroscopy; rotational temperature; actinometry
Popis Low pressure radio-frequency plasma produced in a capacitively coupled planar reactor has been studied by optical emission spectroscopy. Rotational temperature of oxygen molecule has been estimated at pressure 37 Pa and rf power 100-450 W. Concentration of atomic oxygen atom was monitored by actinometry.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.