In-plane strain and shape analysis of Si/SiGe nanostructures by grazing incidence diffraction
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2000 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Physica B |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | In-plane strain and shape analysis of Si/SiGe nanostructures by grazing incidence diffraction |
Popis | In-plane strain and shape analysis of Si/SiGe nanostructures by grazing incidence diffraction |
Související projekty: |