Strain relaxation and surface morphology of compositionally graded Si/SiGe buffers
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 1998 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | J. Vac. Sci & Technol. |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Související projekty: |