Time-resolved sputtered species number density in Ar/N2 HiPIMS

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Časově rozlišená studie hustoty rozprášených častíc v Ar/N2 HiPIMS procesu
Autoři

BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2021
Druh Další prezentace na konferencích
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Online prezentace popísala časový vývoj hustoty rozprašovaných titanových atomů a titanových iontů v oblasti terče a substrátu, pro čtyři různé hodnoty průtoku dusíku a pro dva různě intenzivní pulzy.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.