Diagnostics of reactive magnetron sputtering

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování
Autoři

VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek

Rok publikování 2010
Druh Vyžádané přednášky
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Sledování reaktivního magnetronového naprošování a depozice/leptání tenkých diamantu podobných vrstev pomocí měření vyšších harmonických frekvencí.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.