X-ray diffraction on stacking faults in 3C-SiC epitaxial microcrystals grown on patterned Si(0 0 1) wafers
Název česky | Rtg difrakce na vrstevných chybách v 3C-SiC epitaxních mikrokrystalech rostlých na vzorkovaných Si(001) deskách |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2019 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of Crystal Growth |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
www | Full Text |
Doi | http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2018.10.046 |
Klíčová slova | Semiconducting silicon compounds; Carbides; High resolution X-ray diffraction; Planar defects; Low dimensional structures |
Popis | Představujeme zkoumání strukturální kvality polí 3C-SiC mikropilířů a mikrodrátů pěstovaných epitaxně na hluboce leptaných substrátech Si (0 0 1) odříznutých vzhledem k [1 1 0]. |
Související projekty: |