Tailoring the soft magnetic properties of sputtered multilayers by microstructure engineering for high frequency applications

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Přizpůsobení měkkých magnetických vlastností rozprašovaných multivrstev pomocí inženýrství mikrostruktur pro vysokofrekvenční aplikace
Autoři	FALUB Claudiu V. ROHRMANN Hartmut BLESS Martin MEDUŇA Mojmír MARIONI Miguel SCHNEIDER Daniel RICHTER Jan H. PADRUN Marco
Rok publikování	2017
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	AIP Advances
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.4973945
Doi	http://dx.doi.org/10.1063/1.4973945
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	ferromagnetic-resonance frequency; on-chip inductors; x-ray-scattering; thin-films; roughness; anisotropy; band
Popis	Měkké magnetické tenké vrstvy Ni78.5Fe21.5, Co91.5Ta4.5Zr4 a Fe52Co28B20 vrstvené dielektrickými mezivrstvami SiO2, Al2O3, AlN a Ta2O5 byly vypěstovány na 8" Si deskách pomocí DC, pulsních DC a RF katod v průmyslovém, vysoce propustním Evatec LLS-EVO-II magnetronovém rozprašovacím systému.
Související projekty:	CEITEC - středoevropský technologický institut CEITEC 2020