Deposition of thin zinc films by atmospheric pressure plasma jet in aqueous media

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

GALMIZ Oleksandr BRABLEC Antonín KUDRLE Vít

Rok publikování 2016
Druh Článek ve sborníku
Konference Hakone XV: International Symposium of High Pressure low Temperature Plasma Chemistry
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova atmospheric plasma jet; thin film deposition; zinc
Popis Argon plasma jet was operated at atmospheric pressure in contact with aqueous solution of a zinc salt in order to deposit thin films on silicon substrates immersed in the liquid. The thickness of the films was determined by a profilometer while the chemical composition was analysed by XPS technique. The experiments revealed the importance of the submersion depth of the substrate which strongly affects the energy and particle influx.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.