Antireflexní vrstva (SiO2/Al2O3/MgF2) pro dalekou ultrafialovou (FUV, VUV) oblast spektra na vlnové délce 193nm
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2014 |
Druh | Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Popis | *Trojnásobná antireflexní vrstva (SiO2/Al2O3/MgF2) pro dalekou ultrafialovou (FUV, VUV) oblast spektra na vlnové délce 193nm |
Související projekty: |