Antireflexní vrstva (Al2O3/MgF2) pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2014 |
Druh | Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Popis | *Dvojnásobná antireflexní vrstva (Al2O3/MgF2) pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm |
Související projekty: |