Modelling of Reactive Magnetron Sputtering with Focus on Changes in Target Utilization

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

SCHMIDTOVÁ Tereza VAŠINA Petr

Rok publikování 2012
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Chemické listy
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova reactive magnetron sputtering; modelling; target utilization
Popis The paper deals with modelling of reactive magnetron sputtering of titanium with focus on changes in target utilization.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.