Informace o projektu
Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev

Informace

Projekt nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka projektu je na webu muni.cz.

Kód projektu

GAP205/12/0407

Období řešení

1/2012 - 12/2016

Investor / Programový rámec / typ projektu

Grantová agentura ČR

Standardní projekty

Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanostrukturovaných kompozitních materiálů typu n-MC/a-C(:H). Hlavním cílem tohoto projektu je provést rozsáhlou diagnostiku depozičního plazmatu a porozumět souvislostem mezi parametry depozičního procesu, vlastnostmi depozičního plazmatu a vlastnostmi deponovaných vrstev.

Publikace

Počet publikací: 60

2013

On sputtered particle distribution towards substrate during target erosion - simulation and experiment

KLEIN Peter VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza

Článek ve sborníku

PAPN 2013: Book of extended abstracts, rok: 2013
ON SPUTTERED PARTICLE DISTRIBUTION TOWARDS SUBSTRATE DURING TARGET EROSION - SIMULATION AND EXPERIMENT

KLEIN Peter VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza

Konferenční abstrakty

Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
Preparation of hard nc-TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

ŽEMLIČKA Radek JÍLEK Mojmír VOGEL Petr SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

ŽEMLIČKA Radek JÍLEK Mojmír VOGL Petr SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
Study of the thermal dependence of mechanical properties, chemical composition and structure of the nanocomposite TiC/a-C:H coatings

ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma SOUČEK Pavel VAŠINA Petr GARDELKA Tomáš CAHA Ondřej PEŘINA Vratislav

Konferenční abstrakty

Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
TF-P2-17 Preparation of Hard nc-TiC/a-C:H Coatings Using Hybrid PVD-PECVD Process with Rotating Cylindrical Magnetron

VAŠINA Petr ŽEMLIČKA Radek BURŠÍKOVÁ Vilma SOUČEK Pavel VOGEL Petr JÍLEK Mojmír

Konferenční abstrakty

Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty

2012

Comparison of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by magnetron sputtering in well balanced and highly unbalanced magnetic field

SOUČEK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr BURŠÍK Jiří PEŘINA Vratislav PEI Yutao DE HOSSON Jeff Th.M.

Článek ve sborníku

Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts, rok: 2012
Comparison of nc-TiC/a-C:H Films Prepared by PVD-PECVD Process at Low and High Ion Bombardment

SOUČEK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty
Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process

SCHMIDTOVÁ Tereza SOUČEK Pavel VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty
Feedback system to control reactive magnetron sputtering

KLEIN Peter VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza

Článek ve sborníku

Potential and Applications of Surface Nanothreatment of Polymers and Glass, rok: 2012