Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

SCHMIDTOVÁ Tereza SOUČEK Pavel VAŠINA Petr

Rok publikování 2012
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Evolution of basic deposition plasma parameters such as discharge voltage and current, total pressure and selected spectral emission line intensities as a function of acetylene supply flow is reported and correlated with the evolution of the state of the target.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.