Higher harmonic frequencies in capacitive discharges and their using for monitoring of plasma processing

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích a jejich využití v plazmových procesech
Autoři	DVOŘÁK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Použití vyšších harmonických frekvencí na sledování depozičních procesů.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích