Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium target sputtering in argon and acetylene

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Experimentální studie hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu
Autoři	SCHMIDTOVÁ Tereza VAŠINA Petr SOUČEK Pavel
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Tento příspěvek se věnuje experimentálnímu studiu hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy