Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium target sputtering in argon and acetylene

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Experimentální studie hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu
Autoři

SCHMIDTOVÁ Tereza VAŠINA Petr SOUČEK Pavel

Rok publikování 2011
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Tento příspěvek se věnuje experimentálnímu studiu hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.