Morphological study of nanocrystalline TiC/a-C:H composites deposited by hybrid PVD-PECVD process

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	VAŠINA Petr SOUČEK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza BURŠÍKOVÁ Vilma SCHÄFER Jan
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	This paper presents the morphological study of nanocrystalline TiC/a-C:H composites deposited by hybrid PVD-PECVD process.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy