Effect of Nitrogen Incorporation on Optical Properties of DLC Layers

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	MURESAN Mihai George ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel NEČAS David
Rok publikování	2010
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Diamond-like carbon (amorphous hydrogenated carbon: a-C:H) films doped with different amount of nitrogen were deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using capacitively coupled rf discharge 13.56 in the mixture of CH4/H2/N2 on silicon substrates. Nitrogen content allowed reduction of the inherent internal stress of the DLC layer. DC self-bias, time and gas feed composition parameters were used for modification of the optical properties, adhesion to substrates, chemical composition and structure of the deposited films.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace