Role vodíku na strukturální změny SiGe:H vrstev

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Pedagogickou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

SLÁDEK Petr BURŠÍKOVÁ Vilma SŤAHEL Pavel

Rok publikování 2011
Druh Článek ve sborníku
Konference Sborník příspěvků 5. České fotovoltaické konference
Fakulta / Pracoviště MU

Pedagogická fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova hydrogen; thin films; SiGe
Popis Příspěvek je zaměřen na studium vlivu role vodíku na vlastnosti tenkých vrstev SiGe:H. Pro zjištění optoelektronických vlastností vrstev byly použity metody IČ, PDS, CPM, a dynamická intendační metoda pro stanovení mechanických vlastností. Navíc byly vzorky podrobeny měření termální desorpce vodíku. Výsledky ukazují na různé zabudování vodíku se změnami depozičních podmínek.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.