Optimized calibration and measurement procedures in rotating analyzer and rotating polarizer ellipsometry

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Optimalizovaná kalibrace a proces měření v elipsometrii s rotačním analyzátorem či polarizátorem
Autoři

MÜNZ Filip HUMLÍČEK Josef MARŠÍK Přemysl

Rok publikování 2011
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Thin Solid Films
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.063
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova ellipsometry: spectroscopic; analyzer: rotating
Popis Přesná elipsometrická měření (SE) s rotačním polarizátorem nebo analyzátorem vyžadují správné hodnoty azimutů polarizačních prvků. Zatímco přesnost odečtu bývá obvykle dostatečná, skutečná hodnota je ovlivněna i odchylkou mezi rovinou dopadu, fyzickými osami prvků a přístrojovými stupnicemi. Tato odchylka bývá stanovena zvláštními kalibračními procedurami. Navrhujeme způsob SE měření, při kterých lze získat kalibrační údaje spolu s měřenými daty. Používáme několik nastavení polarizátoru nebo analyzátoru s optimalizací přesnosti a správnosti SE měření. Optimalizace se vztahuje na volbu parametrů i proces následné analýzy dat. Uvádíme také příklad měření ve viditelné a ultrafialové oblasti.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.