Optimized calibration and measurement procedures in rotating analyzer and rotating polarizer ellipsometry
| Název česky | Optimalizovaná kalibrace a proces měření v elipsometrii s rotačním analyzátorem či polarizátorem |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2011 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Thin Solid Films |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Doi | http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.063 |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | ellipsometry: spectroscopic; analyzer: rotating |
| Popis | Přesná elipsometrická měření (SE) s rotačním polarizátorem nebo analyzátorem vyžadují správné hodnoty azimutů polarizačních prvků. Zatímco přesnost odečtu bývá obvykle dostatečná, skutečná hodnota je ovlivněna i odchylkou mezi rovinou dopadu, fyzickými osami prvků a přístrojovými stupnicemi. Tato odchylka bývá stanovena zvláštními kalibračními procedurami. Navrhujeme způsob SE měření, při kterých lze získat kalibrační údaje spolu s měřenými daty. Používáme několik nastavení polarizátoru nebo analyzátoru s optimalizací přesnosti a správnosti SE měření. Optimalizace se vztahuje na volbu parametrů i proces následné analýzy dat. Uvádíme také příklad měření ve viditelné a ultrafialové oblasti. |
| Související projekty: |