Deposition and characterization of n-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SOUČEK Pavel ABDELAZIZ El Mel PIERRE-YVES Tessier ELIÁŠ Marek BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr
Rok publikování	2010
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Deposition and characterization of n-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD. Analyses of mechanical properties, chemical composition and adhesion.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev