Nanocrystalline layer deposition by organometallic compound deposition in microwave discharges
| Název česky | Depozice kovových nanokrystalických vrstvev v mikrovlnných výbojích |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2010 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Potential and applications of surface nanotreatment of polymers and glass : Book of Extended Abstracts |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | nanocrystalline layer; iron pentacarbonyl; plasma; low-pressure discharge; microwave discharge |
| Popis | Mikrovlnný plasmový torch (2,45 GHz, 300 W) operující při atmosférickém tlaku a nízkotlaký (několik kPa) výboj s povrchovou vlnou boli použité na depozici kovové nanokrystalické vrstvy na substráty jako křemík a sklo. Oba výboje byly zapáleny v argonovém plasmatu a do výboje byla následně přidaná organometalická sloučenina. V připadě plasmového torche se teplota pohybovala od 100 do 700 stupňů Celsia. Deponované filmy byly analyzované skenovacím elektronovým mikroskopem (SEM) a rentgenovou spektroskopií EDX. Určeny byly také mechanické vlastnosti vrstev. |
| Související projekty: |
|