Nanocrystalline layer deposition by organometallic compound deposition in microwave discharges

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Depozice kovových nanokrystalických vrstvev v mikrovlnných výbojích
Autoři

JAŠEK Ondřej SYNEK Petr KUDRLE Vít ZELINA Peter BURŠÍKOVÁ Vilma DAVID Bohumil PIZÚROVÁ Naděžda HANZLÍKOVÁ Renata REK Antonín

Rok publikování 2010
Druh Článek ve sborníku
Konference Potential and applications of surface nanotreatment of polymers and glass : Book of Extended Abstracts
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova nanocrystalline layer; iron pentacarbonyl; plasma; low-pressure discharge; microwave discharge
Popis Mikrovlnný plasmový torch (2,45 GHz, 300 W) operující při atmosférickém tlaku a nízkotlaký (několik kPa) výboj s povrchovou vlnou boli použité na depozici kovové nanokrystalické vrstvy na substráty jako křemík a sklo. Oba výboje byly zapáleny v argonovém plasmatu a do výboje byla následně přidaná organometalická sloučenina. V připadě plasmového torche se teplota pohybovala od 100 do 700 stupňů Celsia. Deponované filmy byly analyzované skenovacím elektronovým mikroskopem (SEM) a rentgenovou spektroskopií EDX. Určeny byly také mechanické vlastnosti vrstev.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.