Higher harmonic frequencies in capacitive discharges

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích
Autoři	DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek
Rok publikování	2010
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Bulletin of the American Physical Society 55 (2010), CTP142
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	higher harmonic frequencies; plasma
Popis	Překvapivé chování vyšších harmonických frekvencí při změně koncentrace elektronů a příklady praktických procesů, k jejichž monitorování lze vyšší harmoniky použít.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev