Band structure of diamond-like carbon films assessed from optical measurements in wide spectral range

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	FRANTA Daniel NEČAS David ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma COBET Christoph
Rok publikování	2010
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Diamond and Related Materials
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Diamond-like carbon; Amorphous hydrogenated carbon; Optical properties; Band structure
Popis	The sample of hydrogenated DLC on c-Si prepared by PECVD technique was investigated by ellipsometry in the NIR-UV range (0.6-6.5 eV), synchrotron ellipsometry in the UV-XUV range (4-20 eV) and reflectometry in NIR-UV range (1.24-6.5 eV). Various dispersion models based on the parametrization of density of states (PDOS) were investigated concerning their application in wide spectral range extending to XUV. In conclusion, the further developed PDOS model demonstrated its applicability to correct the calculation of the dielectric response of hydrogenated DLC material in the wide spectral range. Naturally, it can be used for any other disordered materials and it will, together with the optical measurements extended to XUV, bring important information about their band structure.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Vývoj technologie vytváření PECVD vrstev pro výrobu automobilové světelné techniky