Diagnostics of reactive magnetron sputtering

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování
Autoři

VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza

Rok publikování 2010
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Monitorování reaktivního magnetronového naprašování pomocí měření vyšších harmonických frekvencí napětí.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.