Wireless temperature measurement in the hot filament CVD reactor for deposition of carbon nanotubes
Název česky | Bezkontaktní měření teploty při depozici uhlíkových nanotrubek v reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlakna |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2009 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of Electrical Engineering |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | carbon nanotubes; chemical vapour deposition; isolation amplifier |
Popis | Experimentální práce se zabývá měřením teploty reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlákna připraveným elektronickým zařízení. Cílem bylo najít optimální teplotu substrátu, která je jedním z klíčových parametrů při syntéze uhlíkových nanotrubek. Hlavním výsledkem práce je návrh a konstrukce funkčního teploměru, jeho přesná kalibrace a zlepšení přesnosti měření teploty. |
Související projekty: |