Towards limits of x-ray specular reflectivity

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Limity metody rtg reflexe
Autoři	JÍŠA Jan MEDUŇA Mojmír
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	x-ray reflectivity; fourier transform; photoresist
Popis	Použitím difraktometru s vysokým rozlišením jsme úspěšně naměřili tloušťky fotoresistů více než 1um tlusté s rtg zářením. Tloušťka získaná z rtg odrazivosti dobře odpovídá tloušťce získané z optické odrazivosti.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku