Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si)

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

HOUŠKA Jan BURŠÍKOVÁ Vilma HAVEL Josef

Rok publikování 2009
Druh Článek ve sborníku
Konference Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Laser ablation; time-of-flight mass spectrometry; silicon doped diamond-like carbon
Popis Silicon-doped diamond-like carbon (DLC-Si) was prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique from a mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and oxygen using dual frequenci capacitive discharge. Time of flight mass spectrometer equipped with nitrogen laser (337 nm) was used to charakterize its structure via laser ablation. Stoichometry of positively or negatively charged species was confirmed via isotopic pattern simulation. DLC-Si material shows typical spectral patterns similar to those diamond-like carbon. In addition, chemical bound of Si-C in this material was proved and many positively or negatively charged O(m)Si(n)C(o)H(p) species were identified in plasma plume.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.