Characterization of nanostructured diamond-like carbon coatings deposited in single and dual frequency capacitive discharges

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

BURSIKOVA Vilma PERINA Vratislav SOBOTA Jaroslav GROSSMAN Jan KLAPETEK Petr BURSIK Jiri FRANTA Daniel OHLIDAL Ivan ZAJICKOVA Lenka HAVEL Josef JANCA Jan

Rok publikování 2008
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Nanostructured diamond-like carbon coatings with various doping (Si, O, N) were deposited on several different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in single (13.56 MHz) and dual capacitive r.f. discharges. The aim of the present work was to compare the properties of NDLC films prepared in single and dual-frequency capacitive plasmas (DFCCP). The objective of our study was to find the optimum combination of the high and low frequency (continuous or pulsed) excitation enabling to cover uneven substrate surfaces and significant lowering of the internal stress in films.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.