Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor deposition

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

BURSIKOVA Vilma VALTR Miroslav KLAPETEL Petr BURSIK Jiri BLAHOVA Olga OHLIDAL Ivan

Rok publikování 2008
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis In the past two decades, there is a great industrial interest in preparation of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) thin films in a wide range of applications such as nanoelectronics, optical devices, integrated digital circuits, micro-electromechanical devices (MEMs), biomedical coatings, etc. The mechanical properties such as hardness, wear resistance, fracture toughness, film-substrate adhesion, thermo-mechanical stability of the coating-substrate system play always a crucial role for industrial applications of the films.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.