Electromagnetic field distribution modelling in microlenses fabrication process

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Modelování rozložení elektromagnetického pole při procesu výroby mikročoček
Autoři

KLAPETEK Petr WAGNER Tomáš ORAVA Jiří

Rok publikování 2007
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of Physics and Chemistry of Solids
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Chalcogenides;Microstructure
Popis In this article, theoretical modelling of electromagnetic field distribution in the exposed thin film during lithographic process of microlenses array formation is presented. While studying topography of microlenses by means of atomic force microscopy we have found that various diffraction effects are observed due to the small dimensions of microlens patterns comparing to the wavelength. In this article we use finite-difference in time domain (FDTD) method to model electromagnetic field distribution in complex pattern-film geometry. Within FDTD, we solve Maxwell equations numerically, which enables us to model any type of geometry or material properties. Therefore, the effects of different perturbations, like pattern boundary imperfections or thin film roughness can be studied within this method, showing their effect on the electromagnetic field distribution within illuminated chalcogenide thin film.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.