Generation of XeI UV Excimer Radiation by diffuse coplanar surface discharge
Název česky | Generace XeI UV excimerního záření pomocí difuzního koplanárního povrchového výboje |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2007 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | XIIVth symposium on Physics of Switching Arc, Vol. II: Invited Papers |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | excimer radiation; dielectric barrier discharge |
Popis | Generace excimerního UV záření molekulami XeI pomocí diffusního koplanárního povrchového výboje a určení optimálních parametrů zařízení, jakož i pracovních tlaků, poměru jednotlivých plynů ve směsi a další. |
Související projekty: |