Comparative Study of Films Deposited from HMDSO/O2 in Continuous Wave and Pulsed rf Discharges

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Srovnávací studie vrstev připravených z HMDSO/O2 v kontinuálních a pulzních vf výbojích
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma FRANTA Daniel BOUSQUET Angelique GRANIER Agnes GOULLET Antoine BURŠÍK Jiří

Rok publikování 2007
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma processes and polymers
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www3.interscience.wiley.com/cgi-bin/abstract/114261549/ABSTRACT
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova PECVD; hexamethyldisiloxane; oxygen; CCP; ICP
Popis Zabývali jsme se srovnávací studií vlastností vrstev připravených ve vf kapacitně vázaném výboji z 5% směsi hexametyldisiloxanu v kyslíku při dvou různých tlacích 2.5 and 40 Pa v kontinuálním a pulzním módu. Změny optických a zejména mechanických vlastností vrstev byly pozorovány v důsledku odlišného tlaku. Malá změna vlastností byla rovněž dosažena pulzováním výboje.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.