Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

JAŠEK Ondřej KARÁSKOVÁ Monika BURŠÍKOVÁ Vilma ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel FRGALA Zdeněk MATĚJKOVÁ Jiřina REK Antonín KLAPETEK Petr BURŠÍK Jiří

Rok publikování 2006
Druh Článek ve sborníku
Konference Moderní trendy ve fyzice plazmatu a pevných látek II
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://aquila.physics.muni.cz/~abr92/seminar_BB_2006/
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova nanocrystalline diamond;PECVD; microwave discharge
Popis Nanokrystalické diamantové (NCD) vrstvy byly připraveny depozicí z plynné fáze (CVD) za nízkého tlaku v mikrovlnném plazmatu generovaném v reaktou typu ASTEX. Vrstvy byly připraveny na křemíkových substrátech s orientací (111) ze směsi metanu (9 %) a vodíku při teplotě substrátu 1090 K. Dodávaný mikrovlnný výkon (2,45 GHz) byl 850 W a pracovní tlak činil 7,5 kPa. Pro účel nukleace byl substrát vystaven vysokofrekvenčnímu výboji, který vytvářel samopředpětí -125 V. Připravené vrstvy vykazovaly velmi malou drsnost (kvadratická odchylka výšek 9,1 nm) a tvrdost a elastický modul dosahovaly hodnot 70 a 375 GPa. Optické konstanty byly určeny pomocí elipsometrie a měření reflexe a vyhodnoceny na základě Rayleigh-Riceovi teorie a disperzního modelu založeného na parametrizaci hustoty stavů. Depoziční rychlost byla 57 nm/min a to včetně 5 minutové nukleační fáze.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.