Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma FRGALA Zdeněk BURŠÍK Jiří JAŠEK Ondřej ZAJÍČKOVÁ Lenka KARÁSKOVÁ Monika MATĚJKOVÁ Jiřina REK Antonín FRANTA Daniel KLAPETEK Petr
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	E-MRS 2006 Fall meeting
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	nanostructures; composites; diamond films; PECVD; RF induced DC self bias voltage
Popis	Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí
Související projekty:	Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů