Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Optická charakterizace uhlíkových vrstev připravených metodou PECVD pomocí elipsometrie a reflektometrie
Autoři

VALTR Miroslav OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel

Rok publikování 2006
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma discharge; PECVD; ellipsometry; reflectometry; plasma
Popis Uhlíkové polymerní vrstvy byly připraveny plazmovou depozicí z plynné fáze v pulzním režimu ve směsi Ar-acetylén. Optická charakterizace těchto vrstev byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie pod různými úhly dopadu a spektroskopické reflektometrie. V rámci optické charakterizace byly zjištěny tloušťky, spektrální závislosti indexu lomu a indexu absorpce, disperzní parametry a střední kvadratické odchylky výšek drsnosti rozhraní. Byly pozorovány nezanedbatelné odchylky mezi závislostmi tloušťek vrstev na době depozice určenými pomocí elipsometrie na jedné straně a závislostmi určenými pomocí reflektometrie na straně druhé. Tyto odchylky byly vysvětleny tím, že vrstvy vykazovaly i jiné defekty, které nebyly zahrnuty v jejich strukturním modelu. Byla rovněž pozorována citlivost optických parametrů vrstev na ozáření UV.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.